中安在线 中安新闻客户端讯 从身边的智能穿戴设备，到遥远的航空航天飞船，传感器的应用无处不在，它就像是人类的“五官”，赋予了万物“感官”功能，让原本冰冷的机械造物对世界有了感知，它是现代智能化的“神经触角”，是物体与物体之间“交流”的基石，让万物互联成为可能。

　　机器人身上遍布传感器

　　7月4日，在中国（蚌埠）传感谷，记者了解到，这里可以研制力敏、磁敏、温湿度、位移、加速度、流量、惯性、气体、红外等各类传感器，广泛应用在新型显示、新能源汽车、工业互联网、5G通讯、无人驾驶、机器人、智能家居、航空航天、低空经济等新兴产业。

　　传感器样品

　　在传感器的内部，小小MEMS芯片就是它的“大脑”。今年5月，安徽华鑫微纳集成电路有限公司发布：8英寸晶圆生产线首批产品成功串线。这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠正式投产。

　　一条完整的生产线，对传感器产业化发展起到了积极的支撑作用。据介绍，这条生产线达产后预计月产8英寸晶圆1万片，到2027年将达到规划月产3万片。

　　芯片生产车间

　　在这条8英寸晶圆生产线上，遍布房顶的“轨道”吸引了记者的注意。“它就像是珍珠项链的线，串起一台台生产设备。”据安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理丁敬秀介绍，这是整厂布置的“天车系统”，通过智能小车的自动化传送功能，精准完成晶圆载具在生产设备之间的上料、下料及跨工序传送流程，实现了晶圆在各生产工序间的高效有序流转。

　　“天车系统”可以使设备效能提升约10%，搬运自动化率达到90%以上，同时降低污染与损伤风险，提升良率5%-10%，提升物流水平，降低人工成本。

　　这条生产线也是国内第一个柔性化MEMS生产制造平台，柔性化体现在它是集硅基MEMS平台、压电MEMS平台、MEMS-CMOS单片集成平台、2.5D/3D微系统集成平台于一体的体系完善、高度协同的可以提供定制化开发和量产的平台。

　　一块8英寸晶圆直径是200MM，差不多是一个家用普通菜碟的大小，经过这条生产线加工后，可以被做成20多颗能握在掌心的大芯片，也可以被做成3万多颗肉眼难辨的小芯片，这些芯片将为千千万万个传感器“注入灵魂”，驱动它们正常作业。

　　据了解，目前该公司生产的惯性传感器是其拳头产品，技术处于国内领先水平，被广泛应用于无人机、手机、汽车等产品中。

　　在中国传感谷，不仅华鑫微纳，一大批传感器行业领军企业纷纷落子，发展成果遍地开花，已累计建成产业空间超70万平方米，累计培育国家级高新技术企业50家、省级以上专精特新企业40家、上市企业2家，芯动联科惯性传感器、希磁科技电流传感器等技术水平达国内一流，初步形成了研发、设计、制造、封装、测试、应用为一体的全产业链布局，园区成功跃升全国十大高质量传感器园区，万物“感官”正从这里批量走向市场。（记者 张毅璞 朱晓桐 李旭）