合肥欣奕华工作人员进行调试作业

　　2月27日，记者从合肥新站高新区管委会获悉，合肥欣奕华智能机器股份有限公司钙钛矿蒸镀机已交付头部企业用户十余台，目前钙钛矿蒸镀机正批量出货。

　　在合肥欣奕华智能机器股份有限公司内，超4000平方米的千级洁净车间内忙得热火朝天，传送带上的零部件如流水般传递，最终将运往各大光伏产业企业，组合成国内最先进的GW级钙钛矿蒸镀机。

　　“钙钛矿光伏电池正处于实现商业化生产关键阶段，钙钛矿光伏头部企业都在积极布局GW级钙钛矿光伏电池生产线，去年年底，我们获得了GW级钙钛矿蒸镀机订单，一直在加班加点赶制，目前整体设备设计已结束，核心部品及零部件处于加工采购阶段。”合肥欣奕华智能机器股份有限公司工艺工程师任军介绍。

　　钙钛矿电池具备高转化效率和低成本优势，将引领新一轮光伏电池革命，目前行业处于0~1关键阶段。产业突破，设备先行，而钙钛矿核心工艺在镀膜。

　　据介绍，钙钛矿蒸镀机属于第三代新型光伏电池生产制造环节里面的关键镀膜装备，该技术主要在高真空环境中，通过蒸发源对材料进行加热蒸发，使之在基板表面成膜。GW级钙钛矿蒸镀机技术难度高，国内外没有交付的先例。如今，合肥欣奕华攻克了钙钛矿大面积真空镀膜技术、高真空稳定传送技术等，自主研发的钙钛矿蒸镀机系列产品，在钙钛矿光伏蒸镀机行业，整体技术能力处于国内领先、国际先进。

　　“真空蒸镀工艺有利于实现高品质、均一性好的薄膜，钙钛矿电池要实现商业化，就必须实现大面积的钙钛矿电池制备。”任军说，真空蒸镀技术兼容多种材质基板，可以在凹凸不平的基材上蒸镀膜层材料，同时，真空蒸镀技术避免了有机溶剂的回收和环境影响问题，有助于钙钛矿电池产业化量产。

　　“目前，GW级钙钛矿蒸镀机已完成设计，设备部件完成下单，计划3月中下旬进行组装调试，调试完成后交付客户投入生产。接下来，我们将进一步助力我国钙钛矿GW级生产线的量产，也为本地的光伏企业做好配套，助力合肥光伏产业发展。”任军说。

　　（记者 黄紫燕 通讯员 张敏）